一种求取复杂结构金属的互连电容的新算法

摘要：

为了求解导体间产生的寄生电容,提出一种新型随机算法,能快速并准确地计算出二维和三维复杂结构金属间的互连电容.设计了以方形随机漫步为基础的停留介面法,可用于处理含有斜边导体和多层介电质结构;给出了电容矩阵的详细推导公式,应用口字型积分法求取了电场值;分析了取样点的布置和并行架构;最后与商业软件求出的寄生电容结果进行了对比,并分析了并行计算和串行计算的效率.结果表明,求解的寄生电容误差范围都可达业界要求3％以内;在32核计算机下,并行计算时间比串行计算时间快30倍.由此可见,此新算法可用于计算二维和三维复杂结构,且不受限于矩形或梯形导体,且也不受限于介电质层数,可高效的计算出导体间产生的寄生电容.

关键词：随机漫步法、寄生电容、停留介面法、格林函数数值特征化、并行计算

所属期刊栏目：19

分类号：TN453(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金11672077

在线出版日期：2019-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：185-190