电感耦合式射频离子源放电与 引出特性实验

摘要：

为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设计并搭建了电感耦合式射频离子源性能试验系统,通过试验研究了射频放电中离子束流、射频功率、工质流量、栅间电压之间的规律.结果表明:射频离子源试验系统设计合理,能够可靠稳定地工作,真空度低于1.0×10-3 Pa的氩工质条件下离子束能量大范围独立可调,在100～1500 eV范围引出80～460 mA的离子束流,当工质流量一定时,离子源离子束流随射频功率的增大以1 mA/W比率增加,射频功率一定时,离子源束流强度随工质流量增大,在20 sccm时,离子源束流强度至稳定值或者略微增加,合理控制离子源工作参数可以提高离子源工作性能和效率.

关键词：电感耦合式、射频离子源、设计、离子束流、实验

所属期刊栏目：19

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61701209, 11802111,61801201;甘肃省科技计划18JR3RA412;中国航天科技集团有限公司自主研发项目资助

在线出版日期：2019-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24