低压高密度等离子体电极性能研究

摘要：

设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度.实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa (0.5 torr)的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×1013cm-3.对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分析,探索得到了一种封闭腔体内获得接近电弧放电高密度等离子体的方法.

关键词：等离子体密度、Langmuir双探针、低气压封闭式等离子体、电子发射

所属期刊栏目：18

分类号：O461.2(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金61574091

在线出版日期：2018-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6