紫外光刻技术制备各向异性超疏水表面

摘要：

结合紫外光刻技术与湿化学刻蚀法,将掩模板上的条纹结构转移到锌基体上;然后利用月桂酸修饰降低表面能,制备出具有不同间距条纹结构的各向异性超疏水表面.使用接触角测量仪表征其浸润性、偏光显微镜表征其形貌结构、傅里叶红外光谱仪分析表面成分,利用接触角测量仪搭建简易的平台探究制备的具有条纹结构的各向异性超疏水表面的减阻性能.掩模板上5、10、15、30μm间距的条纹图案很好地转移到了锌基体上,经月桂酸修饰后接触角最高达156.26°.当间距d=30μm时,各向异性浸润性最显著,ΔCA=9.93°.实验表明可通过调节条纹间距来控制各向异性浸润性,各向异性浸润性程度ΔCA随条纹间距的增加而增加,平行于各向异性超疏水表面的条纹结构方向有一定的减阻性能.利用该方法可制备特殊结构的各向异性超疏水表面,用于流体定向减阻与运输,微流体器件等领域.

关键词：紫外光刻技术、条纹结构、各向异性、超疏水、浸润性、减阻

所属期刊栏目：17

分类号：TB342(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金51272082;青年科学基金21603070

在线出版日期：2017-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：50-54