介质阻挡放电电压对阳极键合材料表面性能的影响

摘要：

通过亲水角和表面形貌两个标准,探究了介质阻挡放电电压对低温阳极键合材料性能的影响.实验采用1 mm厚的玻璃片和2 mm厚的氧化铝陶瓷片作为阻挡介质,在放电时间为10 s,放电间隙1.5 mm的放电条件下进行活化.实验表明,放电电压为24 kV时,活化效果较好,此时玻璃片亲水角14.3°,硅片亲水角33.5°,玻璃片粗糙度为0.643 nm,硅片粗糙度0.419 nm.

关键词：介质阻挡放电、低温、阳极键合、亲水角

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分类号：TH162.1

资助基金：2016年11月22日收到高等学校博士学科点专项科研基金20133201130003;国家重大科学仪器设备开发专项资金2013YQ470767

在线出版日期：2017-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：187-190