溅射薄膜拉力传感器设计及性能分析

摘要：

针对热真空环境下的拉力检测,研制了一种基于薄膜溅射工艺的双冗余拉力传感器.主要对溅射薄膜拉力传感器的弹性体结构和应变电阻布局进行了分析设计.针对传感器的零点输出误差设计了零点补偿电路;并对传感器的稳定性处理工艺进行了研究.最终,通过对传感器进行热真空试验,验证了该设计的合理性.实验结果表明,该拉力传感器可在-45℃～+90℃范围内正常工作,灵敏度为13.02 mV/kN,精度高于6‰.

关键词：溅射薄膜、拉力传感器、零点补偿、稳定性处理、热真空

所属期刊栏目：17

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：山西省青年基金2012021013-6

在线出版日期：2017-05-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：230-233,249