光学外差干涉法检测激光超声振动

摘要：

激光超声振动是在纳米级别的微弱振动,受环境噪声的影响比较大,且使用传统方法所得到的探测信号强度太低,不利于检测,系统信噪比也比较低.针对这个问题,使用组合透镜对激光进行聚焦,提高探测信号强度,并设计具有较高灵敏度的双光路差分干涉系统,将参考信号与探测信号的强度差控制在理想范围内.实验结果表面,探测信号的强度可达到648 mV,与传统方法相比有10倍左右的提升,解调出的振动信号失真度较小,信噪比可达115.该系统对位移的分辨率可达0.03 nm.

关键词：外差干涉、激光超声、双光路、组合透镜

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：252-254,286