电离气体组分对高频等离子体温度的影响

摘要：

电感耦合高频等离子体在高纯材料合成等领域具有重要应用.电离气体组分影响等离子温度,并影响其使用性能.通过改变电离气体中氧气与氮气的配比,以及往空气中掺入不同比例的氩气,研究了电离气体组分对高频等离子体温度的影响.结果表明,电离气体中氧气相对氮气气体比例的增加可显著提高等离子体温度,同时可促进Si与O粒子的结合.在加料前氧气含量从10％增加到90％时,等离子体电子温度从6 282 K增加到了7047 K;加料后电子温度同样随氧气含量增加而升高;并且游离Si粒子数量随之显著降低;往空气中掺入氢气同样可以提高等离子体电子温度并促进二氧化硅的形成,但其作用弱于氧气.

关键词：高频等离子体、电离气体、电子温度

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分类号：O433.1(光学)

资助基金：国家科技支撑计划2013BAE03B01;国家国际科技合作专项2012DFA51310;中国建筑材料科学研究总院青年科学基金2013-YT-91

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：132-135