基于氧化铝陶瓷的无线无源高温压力传感器的设计与制备

摘要：

设计并制备了一种基于氧化铝陶瓷的无线无源高温压力传感器.首先在常温、压力测试范围为0～0.4 MPa的设计条件下,利用ANSYS仿真软件对所设计的结构进行了力学模型的分析,得出方形氧化铝陶瓷的最大等效应力小于最大许用应力;之后从切片与冲孔、叠片与热压、高温烧结、丝网印刷与后烧等主要工艺步骤介绍了基于氧化铝陶瓷压力传感器的制备方法;最后对其进行了导通性测试.所制备的压力传感器可用于常温下的压力检测和高温下的性能研究.

关键词：氧化铝陶瓷、压力传感器、Ansys仿真、工艺制备

所属期刊栏目：16

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2016-05-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：203-207