基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工

摘要：

研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构.通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149 μm到345 μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式.结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础.与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间.

关键词：微悬臂梁、曝光剂量、SU-8、交联反应、紫外光刻

所属期刊栏目：15

分类号：TH706(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61401405;51475438;山西省基础研究项目2014011021-4;新世纪优秀人才支持计划130951862

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：128-131