基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比

摘要：

为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比.首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验.通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比分别为:CuSO4·5H20的质量浓度为180 g/L,98％的H2S04为70 g/L,纯度为37％的HCl是0.188 mL/L,光亮剂210A、210B、210C分别为0.4 mL/L、0.3 mL/L、4 mL/L.实验结果表明,电铸获得的模具镜面光亮、无分界、质量高.同时,对电镀方法进行了改进,选择在常温下进行电铸实验并加入超声波完成辅助机械处理,得到了高纯度的电铸铜层,铜的重量百分比达到了96.22％,铸层表面显微组织结构明显改善,大大改良了电铸层的力学性能及物理性能.

关键词：UV-LIGA工艺、光亮酸性电铸铜、最优配比、超声处理、常温

所属期刊栏目：14

分类号：TQ153.44

资助基金：863计划项目2013AA041109

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：265-270