基于自由式Hopkinson压杆技术的MEMS动态力学性能研究

摘要：

采用自由式Hopkinson压杆技术对MEMS试样进行高过载冲击试验,讨论了在不同过载加速度峰值和不同脉宽下MEMS试样的动态力学性能响应.研究表明,MEMS试样的破坏不仅与过载加速度峰值有关,还与脉宽有关.如脉宽约为90μs时,试样破碎的临界过载加速度峰值是34 000 g;脉宽约为170 μs时,破碎的临界过载加速度峰值是12 000 g.通过计算冲击能量值,发现使试样破碎的冲击能量阈值是28 J.电镜扫描观测冲击后的试样,发现其主要失效模式是结构的整体性破碎.

关键词：MEMS、高过载、Hopkinson压杆、冲击能量、失效模式

所属期刊栏目：14

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10872174

在线出版日期：2014-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-25,31