加工参数对热柱蒸发端微沟槽形貌的影响

摘要：

犁切挤压加工的微沟槽具有很好的强化沸腾及冷凝效果.提出了热柱蒸发端微沟槽加工的实验过程,建立了犁切挤压刀具加工微沟槽的有限元模型.利用deform软件模拟犁切挤压刀具加工热柱蒸发端的正交微沟槽,分析了微沟槽的成形机理.结果表明犁切挤压深度和进给量对微沟槽表面形貌有很大的影响.在加工环状沟槽时表面形成了U形沟槽及V形沟槽.最后加工径向沟槽时表面形成了正交的中间凹陷四周隆起的微沟槽.

关键词：热柱、微沟槽、犁切挤压、有限元

所属期刊栏目：13

分类号：TN305.94;TG506(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目50930005;广东省自然科学基金项目U0834002

在线出版日期：2013-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5796-5800,5805