透射电镜真空系统的自动应急处理方法及其实现

摘要：

透射电镜的某些故障可能会影响真空系统的正常运行,甚至导致某些真空部件的损坏.基于实际应用需求研究了真空系统的自动应急处理方法.通过分析透射电镜及其真空系统的故障种类和模式,将故障按其危害严重程度进行分级.针对不同等级的故障采取不同的应对措施,并确定应急操作方法,以及故障处理完毕后重新启动真空系统的流程.采用自动触发方法实现真空控制系统的自动报警、自动应急处理响应,以确保透射电镜正常运行.通过实际应用表明,真空控制系统的自动应急处理措施是有效的,基于自动触发的故障处理方法能够满足系统对故障的应急处理要求.

关键词：透射电镜真空系统、自动应急处理、自动触发、PLC控制

所属期刊栏目：13

分类号：TB79(真空技术)

资助基金：国家科技支撑计划2006BAK03A24;中北大学科学基金

在线出版日期：2013-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：5287-5293