压电驱动FSM的动态性能分析

摘要：

快速倾斜镜(FSM)常用作光束控制的执行装置,很多场合都要求其具有优秀的动态性能.利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析.对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试,分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和机械谐振特性,发现加固层和结构摩擦作用下激发出的压电堆叠弯曲模态也是FSM动态性能的制约因素.

关键词：快速倾斜镜、压电堆叠、频率特性、动态模型、有限元分析

所属期刊栏目：13

分类号：TH113.1

资助基金：中国科学院知识创新工程重大项目KGCX1-YW-16课题资助

在线出版日期：2013-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5168-5171