二维超精密定位系统设计与仿真

摘要：

在分析对比了两种典型柔性铰链机构运动特性的基础上,设计了一种无耦合位移、应力集中低的改进复合双平行四杆机构,并用该机构构成了微动系统.微动系统理论分析与有限元仿真的结果表明,该微动系统的设计达到要求.

关键词：超精密定位、柔性铰链、微位移机构、有限元分析

所属期刊栏目：12

分类号：TH702(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50168022;榆林学院高层次人才科研启动基金

在线出版日期：2012-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7071-7073,7088