温度对氮化锆膜微观性能的影响

摘要：

以直流脉冲离子源辅助中频磁控溅射方式,在常温和低热条件下在玻璃衬底上制备氮化锆膜,通过扫描电镜和纳米压痕仪对薄膜的表面形貌、显微硬度、表面粗糙度的变化情况进行了研究.结果表明:增加薄膜的沉积温度,导致膜层硬度的降低；膜层中晶粒尺寸增大；微观粗糙度增加；晶粒之间的间隙明显减小；晶粒之间出现明显的镶嵌现象.

关键词：氮化锆膜、纳米压痕硬度、粗糙度、离子辅助沉积

所属期刊栏目：12

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2012-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7051-7053,7057