折叠式MEMS弹簧弹性系数研究与有限元分析

摘要：

用卡氏第二定律和胡克定律推导出折叠式MEMS弹簧弹性系数的计算公式.ANSYS的仿真结果表明两者的相对误差低于1％.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律.最后对设计的弹簧质量块系统分别进行了模态分析和谐波响应分析.分析结果和理论一致.研究结果为其他结构的MEMS弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.

关键词：微机电系统(Micro Mechanit Electronic System、MEMS)、折叠弹簧、弹性系数、有限元分析

所属期刊栏目：11

分类号：TH703.1(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6832-6835,6841