ZnO/IDT/SiO2结构声表面波传感器仿真和分析

摘要：

针对现有声表面波理论模型难以分析多层结构声表面波传感器器件的缺点,利用周期性介质的矩阵本征算子模型,成功对ZnO/IDT/SiO2多层结构中IDT电极的机械特性对装置性能的影响进行了建模.基于此模型,仿真和分析了此结构装置的波传播速度、机械耦合系数等参数与波导层厚度以及电极厚度的关系.并将仿真结果得到的装置传输频率响应与试验结果进行比较,二者基本一致.

关键词：ZnO/IDT/SiO2、声表面波传感器、矩阵本征算子、多层声表面波器件

所属期刊栏目：11

分类号：TN65(电子元件、组件)

在线出版日期：2011-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5029-5033,5038