DBD放电产生等离子体的能效影响因素研究

摘要：

为提高真空下介质阻挡放电(DBD)的电源效率,考察其能效特性,利用正交设计法安排实验,研究了DBD放电等离子体激励电源的工作频率、占空比、放电环境气压和电极间隙对DBD放电能效的影响,通过方差分析寻找最优组合使电源效率最大化.研究结果表明,占空比是影响电源效率的主要因素,放电环境气压影响其次,加载电源频率和电极间隙大小对电源效率影响不显著.

关键词：介质阻挡放电、低温等离子体、电源效率、能效特性、正交设计法

所属期刊栏目：11

分类号：TB771;TM835(真空技术)

资助基金：福建省自然科学基金 A1010014

在线出版日期：2011-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3632-3636