CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程

摘要：

采用X射线衍射技术、扫描电镜和电子背散射衍射(EBSD)技术研究了CVD金刚石薄膜的织构,表面组织形貌和徼区取向分布.从取向选择生长的角度研究了薄膜织构形成的过程.研究表明,强烈的取向选择生长能够形成强织构,不同的生长速率参数α会导致不同的织构,同时形成不同的表面组织形貌.

关键词：金刚石薄膜、织构、电子背散射衍射、取向选择生长

所属期刊栏目：11

分类号：O766.3(晶体结构)

资助基金：河南科技大学校基金08ZY003;博士科研启动基金09001233

在线出版日期：2011-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2636-2639