基于光电技术的圆度测量及最小二乘评定

摘要：

提出了一种基于光电技术测量圆度误差的新方法.该方法将圆度误差转化为轴上物点的移动,利用理想光组轴向放大率理论来实现微位移的放大,并通过采用位置敏感探测器将光斑像点的位移转化为电信号的输出,从而实现位移与电信号的转化;在测量圆度的同时,采用圆光栅来测量工件转角,实现整周的圆轮廓实时记录;对于圆度误差的评定采用最小二乘法,并经过对比实验,证实该方法的测量原理可行,实现了圆度误差的整周连续测量,其测量精度可以达到1 μm.

关键词：圆度误差、轴向放大率、位置敏感探测器、最小二乘法

所属期刊栏目：10

分类号：TH161.1

在线出版日期：2010-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6741-6744