MEMS新型光纤加速度传感器设计

摘要：

由于微机械系统的广泛应用,微加速度传感器的设计日趋多元化,现给出一种光强调制型麦克尔逊微光纤加速度传感器,阐述了该种干涉型光纤加速度计的结构设计及工作原理,仅使用光纤进行传输,有效地避免了光纤各类形变造成的影响.

关键词：MEMS、光纤加速度计、干涉、光强

所属期刊栏目：10

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

在线出版日期：2010-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4293-4295