MEMS光开关静电驱动结构的研究

摘要：

对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计,考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大,会对光开关的性能产生一定影响,提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构,该种结构能够实现大面积微反射制作的同时,而不提高光开关的驱动电压,具有结构紧凑,便于集成的优点.采用该悬臂驱动结构,成功制作了8×8光开关阵列,单面微反射镜面积达到180 μm×600μm,在65 V的驱动电压下,能够实现徼反射镜180 μm的大位移.

关键词：微反射镜、扭臂、驱动电压

所属期刊栏目：10

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国石油大学校引进人才基金Y071809;山东省自然科学基金2008A34

在线出版日期：2010-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1252-1254