CVD金刚石薄膜微区孪晶的研究

摘要：

采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌,使用电子背散射衍射(EBSD)技术检测了金刚石薄膜中的微区孪晶界分布.从晶体取向的角度研究了孪晶对金刚石薄膜微观织构影响的机理.结果表明,金刚石薄膜中存在大量孪晶,在薄膜生长过程中孪晶界比例逐渐增加.存在高阶孪晶转变现象,高频率孪晶会影响到薄膜的织构.

关键词：金刚石薄膜、孪晶、电子背散射衍射、织构、取向

所属期刊栏目：9

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50372007;河南科技大学科研基金08ZY003;博士科研基金09001233

在线出版日期：2009-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5452-5454,5459