牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用

摘要：

以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素.

关键词：MEMS、微悬臂梁、牺牲层腐蚀、腐蚀速率

所属期刊栏目：9

分类号：TG179(金属学与热处理)

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3994-3999