薄膜型ESR结构分析与优化

摘要：

对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析.在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构.模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距.文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右.四悬臂梁结构的下拉电压仅为10 V左右.

关键词：模拟、Ansys、等效核电阻(ESR)、下拉电压

所属期刊栏目：9

分类号：O484.2(固体物理学)

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3954-3959