孪晶对CVD金刚石薄膜宏观织构组分的影响

摘要：

采用X射线研究了CVD金刚石薄膜的织构,并采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌,探讨了孪晶对金刚石薄膜织构的影响.结果表明,高频率的孪晶会影响薄膜的织构,高频率孪晶导致没有形成{100}织构,而形成{122}织构.

关键词：孪晶、金刚石薄膜、织构、取向

所属期刊栏目：9

分类号：O732(晶体物理)

资助基金：国家自然科学基金50372007;河南科技大学博士科学研基金09001233;校科研基会08ZY003

在线出版日期：2009-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3746-3748,3751