超声换能器ANSYS建模及谐响应分析

摘要：

超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系.通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果.

关键词：PZT换能器、ANSYS、有限元、谐响应、多普勒测速仪

所属期刊栏目：9

分类号：TB552(声学工程)

资助基金：国家自然科学基金50390064;博士点基金20060533068

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2728-2731