ZnO薄膜中缓冲层厚度的研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备ZnO缓冲层,并在其上沉积ZnO薄膜.研究了匀胶的膜厚控制公式,达到对膜厚的控制.采用X射线衍射仪和原子力显微镜分析了缓冲层厚度对ZnO薄膜结晶质量和表面形貌的影响规律.

关键词：ZnO薄膜、缓冲层、膜厚控制、XRD衍射图、AFM图

所属期刊栏目：9

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：591-595