大角度扭转微镜的静态特性分析

摘要：

大角度扭转微镜是一种静电驱动的MEMS微致动器.微镜的大角度扭转会引起极板间电场分布的显著变化,使得极外电场的对微镜的影响变得不容忽略.此外,微镜受静电力作用时,悬臂梁会产生扭转和弯曲两种变形,悬臂梁的弯-扭耦合效应的影响也是必须考虑的.综合考虑了这两类影响,推导出了适用于分析大角度扭转微镜静态特性的解析公式.

关键词：大角度扭转微镜、静态特性、耦合

所属期刊栏目：8

分类号：TP211(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4675-4679