对综合应用PSD、CCD的双三角探头的研究

摘要：

论述了PSD和CCD应用于双三角探头的初步设计思路,详细介绍了二者的信号处理电路,并且对二者在应用于位置测量的各方面的性能进行了对比.最后,提出了需要解决的问题.

关键词：双三角探头、PSD、CCD、分辨率、线性度

所属期刊栏目：7

分类号：TP212.14(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5679-5680,5726