光电集成加速度地震检波器及其信号处理系统

摘要：

研制出光电集成加速度地震检波器及其数字信号处理系统.该检波器将光波导M-Z干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单片集成在同一硅基底上,并与光源、光电探测器、信号处理电路混合集成.数字信号处理系统以TI公司的高性能数字信号处理(DSP)芯片为核心,辅以必要的电路,实现了对加速度信号的高精度检测和误差信号的补偿.完成了实验样机的研制,测试结果表明主要性能指标达到设计要求.

关键词：光电集成、MOEMS、零差补偿、数字信号处理(DSP)

所属期刊栏目：7

分类号：TN929.11TN941.2

资助基金：国家自然科学基金40274047

在线出版日期：2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4889-4893