基于ANSYS的换能系统的模态分析

摘要：

超声换能器是在微电子制造超声键合工艺中的一个重要部件,了解超声换能器的振动模态是非常有必要的.用有限元分析软件ANSYS仿真,得到换能系统的多种振动模态,进而得出其工作频率和主模态.

关键词：换能器、ANSYS仿真、模态分析

所属期刊栏目：7

分类号：TP274.53(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4183-4185