脉冲激光辐照ZrO2薄膜剥落的研究

摘要：

在得到高斯型短脉冲激光辐照光学薄膜温度分布的基础上,基于最大剪应力理论建立了光学薄膜发生迎光剥落的理论模型,得到了发生损伤的相应的应力分布.通过数值计算,分析了在短脉冲激光辐照时ZrO2薄膜的损伤情况,并计算出相应的损伤阈值.对理论计算与实验结论进行了比较,验证了理论模型的合理性.

关键词：激光物理、光学薄膜、损伤阈值

所属期刊栏目：7

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2007-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4013-4016,4021