含有界面裂纹薄膜的有限元分析

摘要：

薄膜-基体复合材料在许多工程领域得到广泛应用.但在生产与使用过程中膜基界面处容易产生裂纹,裂纹的扩展导致膜层的脱落是使膜层完全失效的主要形式之一.目前主要用划痕法定量地测量膜基的结合力.先参考划痕法的试验过程建立分析薄膜力学响应的模型.然后在FEPG(有限元自动生成系统)平台上,编制相应的计算程序.并计算分析了裂纹在不同基底TiN薄膜中的影响和裂纹位置不同对TiN/Au/HSS双层膜的影响,以及裂纹长短不同对TiN/HSS单层膜的影响,表明薄膜应力与裂纹的存在因素有关.

关键词：薄膜、有限元、FEPG、界面裂纹

所属期刊栏目：7

分类号：TB115(工程基础科学)

在线出版日期：2007-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4000-4004