溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO2透明导电膜的结构与性能研究

摘要：

在乙醇溶剂中,以无机金属盐SnCl2·2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶一凝胶法制备了Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量和热处理温度对薄膜结构和性能的影响.结果表明,热处理温度为500℃、Sb掺杂摩尔百分比为15%～20%时,薄膜具有较好的结晶性能、好的导电性能、较高的可见光区透射率和红外光区反射率.

关键词：SnO2、透明导电膜、溶胶凝胶法、掺杂Sb

所属期刊栏目：7

分类号：O484.42(固体物理学)

在线出版日期：2007-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：360-363