基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件

摘要：

对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析.给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时,梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型.

关键词：E型圆膜片、硅微传感器、谐振式传感器、差动检测

所属期刊栏目：5

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目50275009;航空基金02I51018

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：313-315