表面粗糙度二维信息同步测量方法

摘要：

对表面粗糙度的评定参数进行了分析比较,应用Beckmann光散射理论推得同步测定表面粗糙度的振幅信息(轮廓均方根偏差σ)和频率信息(相关长度T)的方法.测得的二维数据能更全面地反映表面粗糙度状况.

关键词：表面粗糙度、散射、同步测量

所属期刊栏目：5

分类号：TH741.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：110-112