热激励谐振式硅微结构压力传感器

摘要：

针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器,简述了其工作机理;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果.

关键词：硅微传感器、热激励、谐振式传感器、压力传感器

所属期刊栏目：4

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50275009;航空科研项目02I51018

在线出版日期：2004-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：426-429