离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展

摘要：

用改进了的离子束增强沉积方法从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜,薄膜具有较高的温度系数和致密、稳定的结构.详细分析了成膜机理,介绍了薄膜工艺的优化、薄膜性能测试和理论模拟的主要结果.讨论了利用IBED薄膜研制非制冷红外成像阵列的读出电路和微桥结构设计.

关键词：二氧化钒薄膜、离子束增强沉积、非制冷红外成像

所属期刊栏目：4

分类号：TB43;O484.4;TN213(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金10175027,60277019

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-48