管型材料离子注入内表面改性研究进展

摘要：

利用在管材中心引入同轴接地电极并在金属管材上加脉冲负偏压以产生径向离子加速电场,实现了金属管材内表面离子注入.目前国内外还有其它一些技术手段实现材料内表面改性,如脉冲放电爆炸金属箔注入、离子束溅射沉积、等离子体化学气相沉积法等.这些实验方法所遇到的主要问题是离子注入沿轴向不均匀、膜与基底结合不牢.在原实验方法基础上,又提出了一种新的方法--栅极增强等离子体源离子注入法.实验结果表明:此方法不但可以大大提高离子注入沿轴向的均匀性,而且可以实现气体离子和金属离子两种离子的共同注入.

关键词：等离子体源离子注入、内表面处理、管型材料

所属期刊栏目：3

分类号：TG156.99(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002A31020;国家自然科学基金102750888、50071668;美国ARO-FE基金N62649-02-1-0010;北京市科研项目H020420160130

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：594-600