用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响

摘要：

为了开发用于真空微电子平板摄像管Vacuum Microelectronics FlatPanelelCamera Tube(VME FPC)的高灵敏度CdSe多层光导靶面,改建了一台精确控制Cdse材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.

关键词：真空微电子平板摄像管VME FPC真空热预处理VHPT、非真空热后处理NHAT

所属期刊栏目：2

分类号：TN(无线电电子学、电信技术)

资助基金：国家自然科学基金69971011

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：59-60