集成电路的超净化生产

摘要：

集成电路是当今世界最精细的工业产品之一.制造集成电路需要极其精密的设备和加工,比如制造超大规模集成电路,就要在一块比手指头还小的硅片上,制作几十万个晶体管等元件,以及比头发丝还细几十倍的电子线路.这已是尽人皆知的常识.集成电路生产除了要求精密外,还要求干净——不是一般的干净,而是超乎寻常的干净,是“超净化”.在集成电路发展史上,对超净化重要性的认识,是用无数严重的挫折、教训、浪费为代价换来的.

机标关键词：超大规模集成电路、集成电路生产、超净化、制造、精密、工业产品、电子线路、头发丝、晶体管、发展史、制作、元件、手指、设备、教训、加工、硅片

分类号：X38;TU8

在线出版日期：2017-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27