压力传感器的设计及测试分析

摘要：

压力传感器作为众多传感器类型中的一种,被广泛应用于工业生产、医疗、环境监测及航空航天领域.为进一步提升压力传感器的精度和性能,在扩大其应用范围的同时,根据应用场景,完成压力传感器的定制化设计;在对压力传感器基本概述的基础上,重点对压阻式压力传感器的基本结构、结构参数及封装形式进行设计;最后,建立压阻式压力传感器测试系统,对其性能和精度进行测试,为后续压力传感器的定制化应用奠定基础.

关键词：压力传感器、压敏电阻、MEMS、CMOS、灵敏度

所属期刊栏目：19

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2023-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78