10.16660/j.cnki.1674-098X.2201-5640-2024
电容薄膜真空计膜片建模与仿真
电容薄膜真空计包括有两个部分:传感器部分及检测电路部分.传感器内部感压元件是整个真空计的核心部分,该部件的性能优劣直接关系到整个真空计性能的好坏.本文选用恒弹性合金Inconel 600、3J53两种材料为感压膜片备选材料,并依靠有限元分析软件ANSYS进行感压膜片机械属性的分析,通过对两种薄膜材料的挠度、预张力等特性比较后,最终确定Inconel 600材料作为膜片的备选材料较为合适.
电容薄膜真空计、感压膜片、挠度、预张力、有限元软件
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TB772(真空技术)
2022-05-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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