硅微谐振式加速度计温度自补偿方法研究

摘要：

硅微谐振式加速度计具有低功耗、高灵敏度等优点,在导航、测控等领域有着广泛应用.温度误差会导致输出频率产生漂移,从而影响硅微谐振式加速度计的精度.本文基于硅微谐振式加速度计的特点,提出了一种硅微谐振式加速度计温度自补偿实现方法,通过研究加速度计的工作原理,对加速度计输出频率建立二元函数模型,利用反拟合法反解出实际的加速度值,设计基于FPGA的硬件实现方案,实现温度自补偿方法,达到对硅微谐振式加速度计进行实时温度补偿的目的.

关键词：MEMS;加速度计;温度补偿;FPGA

所属期刊栏目：18

分类号：TH824.4

资助基金：国家重点研发计划项目编号:2018YFB2002300

在线出版日期：2022-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-39,42