扫描电镜样品制备及图像质量影响因素分析

摘要：

样品的制备作为扫描电子显微镜观测前的必要工序,对观测结果的精确性和准确度有重要影响.本文介绍了场发射扫描电子显微镜块状和粉末样品的制备方法,归纳总结了影像图像质量的主要因素.

关键词：场发射扫描电镜、样品、制备方法、图像质量

所属期刊栏目：16

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2020-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：103-104