显影液用超声波脱气装置

摘要：

我公司显影机台多采用PUDDLE方式进行显影,显影液的供液方式为氮气加压,在氮气加压罐里会不可避免的有气体与显影液混合,在显影液从喷嘴喷出的时候,会有气体析出,在晶圆上形成细小泡沫,影响显影效果.超声波可以在液体中传播并产生空化效应,此效应可以将显影液中气体排出,减少乃至消除显影液中气体,提高显影效果.

关键词：显影机、供液、脱气装置

所属期刊栏目：15

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2019-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：108-109