控制外延层过渡区改善Icm参数

摘要：

双极型晶体管的Icm参数是衡量其大电流特性的重要参数,Icm的定义为:共发射极电流放大倍数下降最大值的一半时所对应的集电极电流.Icm参数是衡量晶体管大电流特性的重要参数,通过优化工艺,可以有效减少外延材料过渡区宽度,并且在Gemini2外延炉上生产出的外延材料Icm参数已达到国内先进水平.

关键词：Icm参数、外延、过渡区、自掺杂

所属期刊栏目：15

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2019-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：89-90